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10KW半導(dǎo)體制程Dummy Load

產(chǎn)品型號：8931-230

簡介：

10KW半導(dǎo)體制程Dummy Load為了使生產(chǎn)過程重復(fù)性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要優(yōu)良的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準(zhǔn)確性和重復(fù)性的關(guān)鍵部分就是射頻發(fā)射機(jī)的校準(zhǔn)、操作規(guī)程和日常監(jiān)測。

18576673708 0755-83986300

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產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù) 產(chǎn)品配件

10KW半導(dǎo)體制程Dummy Load

Termination Load 精密負(fù)載為了使生產(chǎn)過程重復(fù)性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要**的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準(zhǔn)確性和重復(fù)性的關(guān)鍵部分就是射頻發(fā)射機(jī)的校準(zhǔn)、操作規(guī)程和日常監(jiān)測。

10KW半導(dǎo)體制程Dummy Load提供超穩(wěn)定，低VSWR 的，針對發(fā)射機(jī)輸出功率配合BIRD 精密功率傳感器進(jìn)行快速精確測量的負(fù)載。當(dāng)運(yùn)作在額定區(qū)域時(shí)，Dummy Load 負(fù)載VSWR 的總變化范圍能夠保持在0.1dB以內(nèi)。

負(fù)載針對不同時(shí)間長度校準(zhǔn)，重復(fù)性優(yōu)良且無需預(yù)熱。這樣能夠極大減小該項(xiàng)校準(zhǔn)的誤差，控制一個(gè)更關(guān)鍵的過程變量穩(wěn)定。

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型號	功率等級	頻率范圍	冷卻方式	預(yù)設(shè)接口	重量（kg）
8890-320	5kW	DC-2.4GHz	230VAC 風(fēng)扇冷卻	QC 型 LC（f）接口	33kg
8921	5kW	DC-1GHz	自然冷卻	QC 型 LC（f）接口	57kg
8931-230	10kW	DC-1GHz	230VAC 風(fēng)扇冷卻	QC 型 LC（f）接口	65kg
8921SC13	5kW	DC-28MHz *13.56MHz	自然冷卻	QC 型 LC（f）接口	57kg
8931-230SC13	10kW	DC-28MHz *13.56MHz	230VAC 風(fēng)扇冷卻	QC 型 LC（f）接口	65kg
8941-230SC13	15kW	DC-28MHz *13.56MHz	230VAC 風(fēng)扇冷卻	QC 型 DIN（f）接口	107kg

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