RF Calibration半導(dǎo)體功率校正解決方案
高性價比關(guān)鍵部位RF系統(tǒng)測量方案
BIRD 半導(dǎo)體 RF 測試
BIRD Semiconductor RF Measurement
l BIRD Technologies 在射頻行業(yè)的各市場及產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)因可靠性而世界聞名──我們?nèi)硇闹铝τ谔嵘?BIRD 產(chǎn)品的可靠性。
l 全球范圍內(nèi)設(shè)立有 Bird Service Center（BSC），能夠根據(jù)各國家標準和各企業(yè)標準修理與校準 BIRD 產(chǎn)品。
l BSC 能隨時部署技術(shù)人員，監(jiān)測和排除故障原因，解決任何現(xiàn)場的問題，優(yōu)化客戶方案，滿足客戶的需求。
半導(dǎo)體市場
Semiconductor Market
l 自從等離子體**用于晶片生產(chǎn)過程后，功率測量就一直是半導(dǎo)體制造過程的關(guān)鍵部分。等離子體的 特性非常靈敏，受激勵能量影響較大，而射頻能量直接應(yīng)用于激勵等離子體；
l 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)包含了生產(chǎn)制造高度集成化電路，包含通過將大量極度復(fù)雜的生產(chǎn)工藝集成到昂貴的生產(chǎn) 材料上的過程。
l BIRD 長久以來為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程器件的校準提供高可靠性的，準確度在 1%的功率傳感器及RF部件；
l 相對于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的其他部分，RF 電源雖然體積小但是是極為重要的部分，直接影響等離子體特性變化以及生產(chǎn)質(zhì)量，因此射頻可靠性在整個環(huán)節(jié)中不可或缺；生產(chǎn)過程的重復(fù)性對于提高產(chǎn)能和控制半導(dǎo)體生產(chǎn)材料的利潤至關(guān)重要。
l BIRD 由于射頻可靠性而聞名， 同時我們也以能提供滿足高重復(fù)性要求的儀器感到自豪。
BIRD RF 校準
BIRD RF Calibration
l 在初期，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所選擇的激勵能量為 DC 直流源。DC 源具有低成本，低準確度的特點，對于早期半 導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)工藝精度要求來說綽綽有余。
l 隨著制程科學(xué)技術(shù)及生產(chǎn)工藝的不斷進步，設(shè)備廠商 選用射頻源代替 DC 源作為激勵能量。射頻源具有穩(wěn)定、精準的特點，能夠保證激勵能量環(huán)節(jié)的可靠性。
l 在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，射頻能量直接決定了反應(yīng)室中等離子體的特性。在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，任何環(huán)節(jié)的 可靠性都影響了*終良率。
l 如在 wafer 生產(chǎn)的 20 日周期內(nèi)，如若任何環(huán)節(jié)出現(xiàn)的微小偏差，*終可能 會造成晶格損傷等嚴重問題，造成大批壞片。
l 作為產(chǎn)業(yè)鏈其中的環(huán)節(jié)之一，維持射頻電源的穩(wěn)定輸出是不可或缺的。在蝕刻、鍍膜等工藝中對射頻 電源的應(yīng)用非常廣泛，射頻上可能出現(xiàn)的問題直接制約了生產(chǎn)工藝及效率。
l 在新進設(shè)備裝機驗證及日常運行階段，需要定期使用 BIRD RF 校準套件對射頻電源進行驗證輸出一致 性并加以校正；當機臺設(shè)備出現(xiàn)故障時，需要使用 BIRD RF 校準套件進行故障排查檢測。
BIRD 半導(dǎo)體測量解決方案
BIRD Semiconductor Measurement Solution
l 包含半導(dǎo)體精密功率傳感器、精密負載、精密讀數(shù)功率計及 SK-200 纜線測試儀。
其中：
1. 標準阻抗的低插損通過式精密功率傳感器（Sensor）串聯(lián)進入系統(tǒng)，準確測量功率參數(shù)；
2. 精密負載（Dummy Load）高效耗散射頻能量；
3. 讀數(shù)功率計（Meter）可自動計算駐波比，實現(xiàn)**計算；
4. SK-200-TC 對于纜線系統(tǒng)及負載準確評估，保證系統(tǒng)穩(wěn)定準確。
為了獲得*大的過程可重復(fù)性和一致性，現(xiàn)代等離子應(yīng)用需要**的RF功率調(diào)節(jié)和控制。 確保準確，可重復(fù)地向腔室輸送射頻功率的關(guān)鍵因素是對射頻發(fā)生器的校準，調(diào)節(jié)和監(jiān)控。 Bird現(xiàn)在提供超穩(wěn)定，低VSWR負載，當與4020系列精密功率傳感器一起使用時，可快速，**地測量射頻源的功率輸出。 Bird的8865SC13，8890-300SC13，8921SC13和8931 SC型號不僅提供低VSWR，而且在過程的關(guān)鍵頻率下，VSWR的總變量小于0.1 dB。
由于針對不同的時間進行校準，因此無需進行負載預(yù)熱或重復(fù)性風(fēng)險。 這樣可以使與此校準相關(guān)的誤差*小化，并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。
Precision Oil-Cooled Dummy Load
為了使生產(chǎn)過程重復(fù)性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要**的RF 功率調(diào)節(jié)和控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準確性和重復(fù)性的關(guān)鍵部分就是射頻發(fā)射機的校準、操作規(guī)程和日常監(jiān)測。
BIRD 提供超穩(wěn)定，低VSWR 的，針對發(fā)射機輸出功率配合BIRD 精密功率傳感器進行快速**測量的負載。當運作在額定區(qū)域時，Dummy Load 負載VSWR 的總變化范圍能夠保持在0.1dB以內(nèi)。
負載針對不同時間長度校準，重復(fù)性優(yōu)良且無需預(yù)熱。這樣能夠極大減小該項校準的誤差，控制一個更關(guān)鍵的過程變量穩(wěn)定。
選型列表
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型號
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功率等級
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頻率范圍
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冷卻方式
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預(yù)設(shè)接口
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重量（kg）
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8890-320
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5kW
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DC-2.4GHz
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230VAC 風(fēng)扇冷卻
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QC 型 LC（f）接口
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33kg
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8921
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5kW
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DC-1GHz
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自然冷卻
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QC 型 LC（f）接口
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57kg
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8931-230
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10kW
|
DC-1GHz
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230VAC 風(fēng)扇冷卻
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QC 型 LC（f）接口
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65kg
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8921SC13
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5kW
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DC-28MHz
*13.56MHz
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自然冷卻
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QC 型 LC（f）接口
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57kg
|
|
8931-230SC13
|
10kW
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DC-28MHz
*13.56MHz
|
230VAC 風(fēng)扇冷卻
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QC 型 LC（f）接口
|
65kg
|
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8941-230SC13
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15kW
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DC-28MHz
*13.56MHz
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230VAC 風(fēng)扇冷卻
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QC 型 DIN（f）接口
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107kg
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Moduloads High Power Load
模組液冷負載系列是一款集成式水循環(huán)冷卻負載，需要 115伏或 230 伏的電壓輸入。模組負載能夠有效地將高達 25 至 50kW 功率等級的射頻能量耗散，支持頻率范圍延展至 900MHz。負載芯 固定在模組中心。 負載模組結(jié)構(gòu)緊湊，提供聯(lián)鎖控制電路提供故 障**保護，可在系統(tǒng)故障發(fā)生時保護發(fā)射機等重要系統(tǒng)單元。
l 結(jié)構(gòu)緊湊
l 一體式水循環(huán)模組系統(tǒng)
l 內(nèi)置護鎖開關(guān)，保證 RF **環(huán)境
l 地方
選型列表
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型號
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功率等級
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頻率范圍
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接口類型
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尺寸
mm
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重量
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8645B230
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25kW
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1kHz-900MHz
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3-1/8’’ EIA Flg
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723x497x528
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70kg
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8655B230-5
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50kW
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1kHz-900MHz
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3-1/8’’ EIA Flg
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1347x497x528
|
125kg
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*Dolly 選件
6771-011 25kW 水冷負載無塵室專用推車
6772B011 50kW 水冷負載無塵室專用推車
*使用前請詳細閱讀 manual 或在 BSC 指導(dǎo)下使用
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BIRD RF Calibration Dummy Load射頻功率測量解決方案BIRD RF Calibration Dummy Load射頻功率測量解決方案BIRD RF Calibration Dummy Load射頻功率測量解決方案BIRD RF Calibration Dummy Load射頻功率測量解決方案
